产品名称:台式超快热压炉(UFTP)也可用于RTP退火炉或薄膜镀膜机
产品型号:RTP-M1
产品描述:RTP-M1是一款台式超快热压炉(UFTP),加热速度超过2000C/分钟,在可选择的自重和受控气氛下最高可达2900°C。
它是一种在快速过热条件下研究半导体材料性能的经济高效的工具。它也可以用作RTP退火炉或改装成CSS薄膜涂布机。
产品描述
RTP-M1是一种台式超快热压炉(UFTP),在可选择的自重和受控气氛下,加热速度超过200℃/分钟,加热速率高达2900℃。这是一种在快速过热条件下研究材料性能的经济高效的工具它也可以用作RTP退火炉或改装成CSS薄膜涂布机。
产品特点
1.内置红外温度传感器和温度控制器
2.6英寸石英管和不锈钢法兰作为大气控制室,真空度为10x10-5托。(内部镀金是可选的,以获得更好的加热反射。
3.真空密封的自重可以施加在样品上进行热压
4.两个箔片之间的间隙可根据不同的样品厚度进行调整
5.两个钨箔或石墨箔盘作为加热元件可以达到2900°Cmax。在低电压和高电流下快速。
产品参数
功率 | 208-240伏交流电,50/60Hz,单相 16 kW变压器,向加热器输出20VAC |
加热元件和直流电源 | 包括两套厚度为0.2毫米的2英寸钨盘 包括两套厚度为0.2毫米的2英寸石墨盘 |
最高温度 | 2900ºC (30 seconds Max.) |
最大加热速率 | <= 200 °C/ second |
压力 | 10kg Max. |
样品尺寸 | 最大直径35毫米x厚度1.0毫米 您可以同时处理多个样本进行高分辨率研究 |
温度控制 | 数字红外温度传感器有两种加热模式 (1) 手动加热,红外温度显示,实现最大加热速率(~200℃/S) (2) 红外传感器和数字显示器可编程温度控制 内置数字温度控制器,精度为+/-1℃。 |
压力 | 顶部法兰上安装有真空密封和可移动杆。 两个陶瓷板将压在加热箔上,样品位于两个加热箔之间。 每个1000克的自重将增加杆并对样品施加压力。 包括10个自重件,总重量为10公斤 电动马达驱动的压力机构可应要求提供,但需额外付费。 ![]() |
规格 | 尺寸: 1750mm * 700mm * 600mm 重量: 60kg |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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