产品名称:双区红外加热RTP管式炉,带两个滑动样品架
产品型号:OTF-1200X-IR-IISL
产品描述:OTF-1200X-IR-IISL是一款RTP管式炉,配备双区红外加热4英寸内径石英管和两个滑动样品架,适用于实验室使用,结构紧凑,操作简单。它能够实现50°C/s的最大加热速率和117°C/min的冷却速率。
产品描述
该炉设计用于通过混合物理化学气相沉积(HPCVD)生长二维和超导材料,其中一个加热区用作固体蒸发源,另一个区域用于气相沉积。精密温度控制器能够设置多达30个温度段的可编程加热和冷却曲线。(特殊技术要求可定制。)
产品特点
1.双层钢制外壳,风冷,使炉膛表面温度低于60°C。
2.短波红外管灯加热,快速加热
3.两个加热区,每个加热区195毫米,HPCVD总长度390毫米
4.两个滑动式样品架,便于在环境条件下装载/取回样品或快速冷却。
5.可伸缩波纹管是法兰组件的一种选择,它允许在惰性环境下进行快速加热和快速冷却(可选)。
6.真空法兰和数字真空计已安装,可立即使用。
产品参数
产品名称 | 双区红外RTP管式加热炉 OTF-1200X-IR-IISL |
型号 | OTF-1200X-IR-IISL |
功率 | 交流电208-240V,单相,50/60 Hz 需要最大24 kW、100 A的电源。(最大峰值实验电流:78A) |
最高温度 | 900°C max (< 10 minutes ) 800°C (< 30 minutes ) 600°C (可持续工作) |
温度精度 | ± 1°C |
最大加热速率 | 室温 ~ 800ºC: 50 ºC/s 800 ºC ~ 900 ºC: 10 ºC/s |
最大降温速率 | 200m torr环境下60ºC/min 大气压下117ºC/min 10°C/min最慢 |
管材尺寸 | 高纯度熔融石英管 Φ110 (OD) × Φ106 (ID)× 740 (L) mm |
滑轨 | 镀铬钢制成的双滑轨 滑轨长度:400mm |
规格 | 尺寸:1300mm×600mm×810mm 重量: 180kg |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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