产品名称:双RTP炉(直径80mm管),一炉可滑动,适用于TCVD最大1200C
产品型号:OTF-1200X-80-DFSL
产品描述:OTF-1200X-80-DFSL是一个由两个直径为80毫米的炉组成的系统,最高工作温度为1200ºC,专为生长2D材料而设计。左炉固定升华,右炉可滑动,实现沉积快速加热和快速冷却(通过预热和滑动达到~100°C/min)。
产品描述
OTF-1200X-80-DFSL是一个由两个直径为80毫米、最高工作温度为1200ºC的炉组成的系统,专为生长2D材料而设计。左炉固定升华,右炉可滑动,实现沉积快速加热和快速冷却(通过预热和滑动达到~100°C/min)。
这两个炉子有单独的温度控制器,没有热干扰。升华温度可以不同于沉积温度。它可用于2D过渡金属二硫化物(TMDC)单层。
产品参数
右侧滑动炉 | 滑动式单区炉OTF-1200X 滑动距离:300毫米 加热区总长度:440mm 恒温区:中心150mm(±1°C) 加热元件:掺杂钼的Fe-Cr-Al合金 最高温度:1200°C(<1小时) 1100°C(连续) 1000°C(真空下) 最大加热速率:10°C/min 热电偶:K型 炉型和滑动距离可定制,请联系我们获取选项。 |
固定炉(左) | 固定式三区炉OTF-1200X-III-C 加热区:152.4毫米(6英寸)+152.4毫米 加热区总长度:450毫米 恒温区:中心200毫米(±1°C) 加热元件:掺杂钼的Fe-Cr-Al合金 最高温度:1200°C(<1小时) 1100°C(连续) 1000°C(真空下) 最大加热速率:10°C/min 热电偶:K型 炉子可以定制为其他可用型号,请联系我们获取选项 |
功率 | OTF-1200X:交流208-240V单相,50/60 Hz,3 kW OTF-1200X-III-C:AC 208-240V单相,50/60 Hz,4 kW 滑动电机:208–240 VAC单相,50/60Hz,200 W |
加工管 | 高纯度熔融石英管 尺寸:外径80毫米x内径72毫米x长度1800毫米 最大压力:0.4bar(5.8磅/平方英寸) 最大流速:1000sccm 工作流程:从右向左 |
温度控制器 | 1.包括FA-YD518P-AG温度控制器。 2.比例-积分-微分控制(PID控制)和自动调谐功能 3.30个分段编程,包括斜坡、冷却和停留步骤 4.内置超温报警和热电偶故障报警 5.+/-1ºC温度控制精度 6.默认DB9 PC通信端口 7.包括四个K型热电偶。 |
真空法兰 | 管子两端安装有带真空计的不锈钢真空法兰。 如果需要排气冷却,可根据要求提供水冷法兰。 |
滑动控制 | 1.镀铬钢制双线滑轨 2.手动控制速度和方向的电动机 3.运动停止限位开关 4.滑动长度:300mm |
规格 | 尺寸: 2250 mm L × 450 mm W × 680 mm H |
保修 | 一年有限制造商保修(加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内,请在相关产品处订购更换件) |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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