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OTF-1200X-80-DFSL 双区管式滑动炉

OTF-1200X-80-DFSL 双区管式滑动炉

产品名称:双RTP炉(直径80mm管),一炉可滑动,适用于TCVD最大1200C

产品型号:OTF-1200X-80-DFSL

产品描述:OTF-1200X-80-DFSL是一个由两个直径为80毫米的炉组成的系统,最高工作温度为1200ºC,专为生长2D材料而设计。左炉固定升华,右炉可滑动,实现沉积快速加热和快速冷却(通过预热和滑动达到~100°C/min)。

产品描述

OTF-1200X-80-DFSL是一个由两个直径为80毫米、最高工作温度为1200ºC的炉组成的系统,专为生长2D材料而设计。左炉固定升华,右炉可滑动,实现沉积快速加热和快速冷却(通过预热和滑动达到~100°C/min)。

这两个炉子有单独的温度控制器,没有热干扰。升华温度可以不同于沉积温度。它可用于2D过渡金属二硫化物(TMDC)单层。


产品参数

右侧滑动炉

滑动式单区炉OTF-1200X

滑动距离:300毫米

加热区总长度:440mm

恒温区:中心150mm(±1°C)

加热元件:掺杂钼的Fe-Cr-Al合金

最高温度:1200°C(<1小时)

1100°C(连续)

1000°C(真空下)

最大加热速率:10°C/min

热电偶:K型

炉型和滑动距离可定制,请联系我们获取选项。

Sliding Single-zone Furnace OTF-1200X.png


固定炉(左)

固定式三区炉OTF-1200X-III-C

加热区:152.4毫米(6英寸)+152.4毫米

加热区总长度:450毫米

恒温区:中心200毫米(±1°C)

加热元件:掺杂钼的Fe-Cr-Al合金

最高温度:1200°C(<1小时)

1100°C(连续)

1000°C(真空下)

最大加热速率:10°C/min

热电偶:K型

炉子可以定制为其他可用型号,请联系我们获取选项

Stationary Three-zone Furnace OTF-1200X-III-C.png

功率

OTF-1200X:交流208-240V单相,50/60 Hz,3 kW

OTF-1200X-III-C:AC 208-240V单相,50/60 Hz,4 kW

滑动电机:208–240 VAC单相,50/60Hz,200 W

加工管

高纯度熔融石英管

尺寸:外径80毫米x内径72毫米x长度1800毫米

最大压力:0.4bar(5.8磅/平方英寸)

最大流速:1000sccm

工作流程:从右向左

温度控制器

1.包括FA-YD518P-AG温度控制器。

2.比例-积分-微分控制(PID控制)和自动调谐功能

3.30个分段编程,包括斜坡、冷却和停留步骤

4.内置超温报警和热电偶故障报警

5.+/-1ºC温度控制精度

6.默认DB9 PC通信端口

7.包括四个K型热电偶。

Temperature Controller.jpeg

 真空法兰

管子两端安装有带真空计的不锈钢真空法兰。

如果需要排气冷却,可根据要求提供水冷法兰。

滑动控制

1.镀铬钢制双线滑轨

2.手动控制速度和方向的电动机

3.运动停止限位开关

4.滑动长度:300mm

规格

尺寸: 

2250 mm L × 450 mm W × 680 mm H

Dual Furnace (80mm Dia Tube)  Dimension.jpg


保修

一年有限制造商保修(加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内,请在相关产品处订购更换件)

Dual Furnace (80mm Dia Tube) .jpg

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