OTF1200XSDFPESL 双区滑动PECVD

产品名称：双可滑动PECVD管式炉系统，带2英寸管和法兰，最高1200C

产品型号：OTF-1200-XS-DFPESL

产品描述：OTF-1200-XS-DFPESL是一种双滑动PECVD（等离子体增强化学气相沉积）管式炉系统。它是一种用于PECVD的工具，具有2“ODx55”L石英管和法兰，最高可达1200°C的工作温度。

产品描述

OTF1200XSDFPESL是一种双滑动PECVD（等离子体增强化学气相沉积）管式炉系统。它是一种用于PECVD的工具，具有2“ODx55”L石英管和法兰，最高可达1200°C的工作温度。

两个2英寸的管式炉可以在滑轨上滑动，以找到原料热蒸发/升华和薄膜沉积的位置。将炉从一侧滑动到另一侧可以实现高达100°C/min的最大加热和冷却速率。

产品参数

结构	1.两台炉均为双层钢结构，最高工作温度1200°C。 2.每台炉有一个200mm的加热区和一个60mm长的恒温区。 3.炉膛底部安装有一对滑轨，可手动左右移动炉膛，最大滑动距离为400mm。 4.真空法兰安装后立即使用。
功率	需要AC 208-240V单相50/60 Hz 20A空气断路器。总计2.5KW。
最高温度	1200°C (<1 小时)
持续温度	1100°C
加热和降温速率	加热速率: 15°C/sec (室温 - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C); 1°C/sec (650°C - 800°C); 0.5°C/sec (800°C - 1000°C); 降温速率: 15°C/sec (1000 - 950°C); 10°C/sec (950°C - 900°C); 7°C/sec (900°C - 850°C); 4°C/sec (850°C - 750°C); 2°C/sec (750°C - 600°C); 1.5°C/sec (600°C - 500°C); 1°C/sec (500°C - 400°C); 0.5°C/sec (400°C - 300°C); 注意: 最大加热和冷却速率是通过将处理管的一侧预热到目标温度，然后将炉子滑到另一侧来实现的。您可以选择是否将样品放置在预热区域。
加热区域长度	每台炉200mm（约8英寸）
恒温区	60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)
等离子体射频发生器	输出功率：5-300W可调，稳定性±1% 射频频率：13.56 MHz±0.005%稳定性反射功率：最大200W。匹配：自动射频输出端口：50Ω，N型，母头噪音：<50dB。电源：208-240VAC，50/60Hz 冷却方式：空气冷却。
温度控制器	1.两台炉采用PID自动控制，具有30个可编程段，可精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 2.内置超温报警和保护功能，无需值守即可操作。 3.包括两个K型热电偶 4.温度精度：+/-1°C
规格	尺寸: 780mm(L) x 600mm(W) x 710mm(H)
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）