产品名称:双区自动滑动双炉(Ø50mm)最大1200C用于TMDs生长
产品型号:OTF-1200X-50-DFSL
产品描述:OTF-1200X-50-DFSL是一个由两个Ø50 mm炉组成的系统,最高工作温度为1200ºC。它被设计用于生长2D过渡金属二硫化物(TMD)。
产品描述
OTF-1200X-50-DFSL是一个由两个Ø50 mm炉组成的系统,最高工作温度为1200ºC。它被设计用于生长2D过渡金属二硫化物(TMD)。
左炉固定用于固体前驱体升华,右炉具有自动滑动功能,可实现沉积快速加热和快速冷却(通过预热和滑动达到~100°C/min)。这两个炉子有单独的温度控制器,用于升华和沉积,没有热干扰。
产品参数
滑动炉(右) | 双区炉OTF-1200X-S-II 滑动距离:300毫米 加热元件:掺钼铁铬铝合金 加热区:200+200毫米 恒温区:70mm(±2°C) 最高温度:1200°C(<1小时) 1100°C(连续) 1000°C(真空下) 最大加热速率:20°C/min K型热电偶 |
固定炉(左) | 固定式单炉:OTF-1200X-S 加热区:200毫米 恒温区:60毫米(±1°C) 加热元件:掺钼铁铬铝合金 最高温度:1200°C(<1小时) 1100°C(连续) 1000°C(真空下) 最大加热速率:20°C/min K型热电偶 |
工作管 | 1.高纯度熔融石英管。 2.尺寸:50外径x 44内径x 1200长(毫米)。 3.最大压力:0.2bar(3psig)。 4.最大流速:1000sccm。 5.工作流程:从静止到滑动。 |
温度控制器 | 1.比例-积分-微分控制(PID控制)和自动调谐功能。 2.30个分段编程,包括斜坡、冷却和停留步骤。 3.内置超温报警和热电偶故障报警。 4.温度控制精度+/-1ºC。 5.默认DB9 PC通信端口。 |
真空法兰 | 管子两端安装有带压力表的不锈钢真空法兰。 水冷法兰需额外付费。 真空泵的KF25端口。 |
可编程滑动控制 | 镀铬钢制成的双线滑轨。 24VDC电机,具有手动和自动模式。 自动可编程滑动功能与温度控制器集成在一起。 滑动长度:300毫米。 |
恒温区 | 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000 °C |
规格 | 尺寸: 1502 mm L × 420 mm W × 700 mm H (Furnace lid open) 1502 mm L × 420 mm W × 520 mm H (Furnace lid open) 重量: 105 Kg |
保修 | 一年有限制造商保修(加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内,请在相关产品处订购更换件)。 |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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