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  • OTF-1200X-50-DFSL 自动双区RTP管式炉
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OTF-1200X-50-DFSL 自动双区RTP管式炉

产品名称:双区自动滑动双炉(Ø50mm)最大1200C用于TMDs生长

产品型号:OTF-1200X-50-DFSL

产品描述:OTF-1200X-50-DFSL是一个由两个Ø50 mm炉组成的系统,最高工作温度为1200ºC。它被设计用于生长2D过渡金属二硫化物(TMD)。

产品描述

OTF-1200X-50-DFSL是一个由两个Ø50 mm炉组成的系统,最高工作温度为1200ºC。它被设计用于生长2D过渡金属二硫化物(TMD)。

左炉固定用于固体前驱体升华,右炉具有自动滑动功能,可实现沉积快速加热和快速冷却(通过预热和滑动达到~100°C/min)。这两个炉子有单独的温度控制器,用于升华和沉积,没有热干扰。

产品参数


滑动炉(右)

双区炉OTF-1200X-S-II

滑动距离:300毫米

加热元件:掺钼铁铬铝合金

加热区:200+200毫米

恒温区:70mm(±2°C)

最高温度:1200°C(<1小时)

1100°C(连续)

1000°C(真空下)

最大加热速率:20°C/min

K型热电偶

Stationary Furnace (Right).jpg

固定炉(左)

固定式单炉:OTF-1200X-S

加热区:200毫米

恒温区:60毫米(±1°C)

加热元件:掺钼铁铬铝合金

最高温度:1200°C(<1小时)

1100°C(连续)

1000°C(真空下)

最大加热速率:20°C/min

K型热电偶

Stationary Furnace (Left).jpg

工作管

1.高纯度熔融石英管。

2.尺寸:50外径x 44内径x 1200长(毫米)。

3.最大压力:0.2bar(3psig)。

4.最大流速:1000sccm。

5.工作流程:从静止到滑动。

温度控制器

1.比例-积分-微分控制(PID控制)和自动调谐功能。

2.30个分段编程,包括斜坡、冷却和停留步骤。

3.内置超温报警和热电偶故障报警。

4.温度控制精度+/-1ºC。

5.默认DB9 PC通信端口。

Temperature Controller.jpg

真空法兰

管子两端安装有带压力表的不锈钢真空法兰。

水冷法兰需额外付费。

真空泵的KF25端口。

可编程滑动控制

镀铬钢制成的双线滑轨。

24VDC电机,具有手动和自动模式。

自动可编程滑动功能与温度控制器集成在一起。

滑动长度:300毫米。

恒温区

2.3" (60mm)  (+/-1°C) @ 1000 °C

规格

尺寸: 1502 mm L × 420 mm W × 700 mm H (Furnace lid open)

                     1502 mm L × 420 mm W × 520 mm H (Furnace lid open)

重量: 105 Kg

保修

一年有限制造商保修(加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内,请在相关产品处订购更换件)。

Automatic Sliding Dual Furnace.jpg

Automatic Sliding Dual Furnace.jpg

Automatic Sliding Dual Furnace Details.jpg

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