CSS近距离升华炉-OTF-1200X-RTP-II

产品名称：用于PVD或近距离升华膜涂层的双区CSS RTP炉

产品型号：OTF-1200X-RTP-II

产品描述：OTF-1200X-RTP-II是一款双加热区快速热处理炉，配有11英寸外径石英管。它专为PVD或CSS（紧密间隔升华）薄膜涂层而设计，直径可达3英寸或2英寸x2英寸见方。

产品描述

OTF-1200X-RTP-II是一种双加热区快速热处理炉（RTP管式炉），配有11英寸外径的石英管。它专为直径达3英寸或2英寸x2英寸见方的PVD或CSS（紧密间隔升华）薄膜涂层而设计。炉子由两组卤素加热器（顶部和底部）分别加热，最大加热速率为20ºC/s。内置两个30段精密温度控制器，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和记录温度曲线。

它是研究CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池等新一代太阳能电池薄膜的优秀工具。它也可以用作薄膜退火的RTP。

产品参数

炉膛结构和真空室	1.一个双加热器、两个温度控制器和两个通道气体流量计集成在一个移动式铝合金框架中 2.腔室由高纯度熔融石英管制成 3.石英管尺寸：外径11英寸，内径10.8英寸，高9英寸 4.碳纤维毡保温 5.真空法兰由316不锈钢制成 6.外形尺寸：长850毫米×宽745毫米×高1615毫米
真空法兰	1.顶部法兰有一个KFD-25真空口和两个气体出口（需要1/4英寸的管道），可以手动上下滑动，轻松装卸基材和蒸发材料 2.底部法兰有一个KFD-25真空端口，带有两个进气口（需要1/4英寸的管道）和针阀 3.法兰采用双硅胶o型圈密封，优质机械泵可实现10E-2 Torr的最大真空压力，分子泵可达到10E-5 Torr的最高真空压力 4.精密防腐数字真空表采用标准包装（自2016.03.24起）。
加热器和样品架	1.两个短波红外灯作为加热元件，用于快速加热。 2.两个加热器之间的距离可在10-50mm之间调节 3.加热器由不锈钢制成，带有水冷套，以减少热辐射并实现快速冷却 3英寸圆形晶圆架内置顶部加热器，用于装载基板 4.包括一块高导热AlN板（直径3“x 0.5mm厚），应放在基板背面，使其均匀加热 5.AIN板可选用一块3英寸石墨板，请联系我们订购。
温度控制器	1.两个30段可编程的精密数字温度控制器可独立控制顶部和底部加热器 2.每个控制器都有PID自动调谐功能，以保护加热器免受超调，并具有报警功能，以避免过热和热电偶断裂 3.安装了PC通信接口和软件。
工作温度	每个加热器的最高温度：<=650ºC 两个加热器之间的最大温差：<=300ºC取决于两个加热器的间距： -间距30mm最大温差：仅加热底部315ºC -间距40mm最大温差：仅加热底部350ºC -间距50mm最大温差：仅加热底部395ºC
加热和降温速率	加热：<8ºC/s（仅加热单个加热器）冷却速度：最大<10ºC/s（600-100ºC）。
工作电压	208-240VAC，单相，20A空气断路器
保修	一年有限，终身支持。（石英管、加热灯等易损件不在保修范围内）