OTF-1200X-DVD-M 高真空下最高1200C带样品滑动功能的可拆分RTP管式炉

产品名称：高真空下最高1200C带样品滑动功能的可拆分RTP管式炉

产品型号：OTF-1200X-DVD-M

产品描述：OTF-1200X-DVD-M是一种可分体式管式炉，具有坩埚滑动功能（手动推动），可在高真空或气密气氛中使用，最高温度为1200°C。真空密封手动推坩埚由磁耦合真空推系统实现。该设备可在各种气氛下进行钛板退火处理、快速热处理、HPCVD、快速热蒸发（RTE）和直接气相沉积（DVD）。

产品描述

OTF-1200X-DVD-M是一种可分体式管式炉，具有坩埚滑动功能（手动推动），可在高真空或气密气氛中使用，最高温度为1200°C。真空密封手动推坩埚由磁耦合真空推系统实现。

该设备可在各种气氛下进行钛板退火处理、快速热处理、HPCVD、快速热蒸发（RTE）和直接气相沉积（DVD）。

产品参数

结构	1.坩埚在真空/大气中通过磁耦合驱动的移动性。 2.坩埚底部热电偶的实时温度测量。 3.左端法兰与夹具连接，便于取样。 4.高真空密封，可达10-5torr
功率	AC 单相 220V 50/60HZ 3.5 kW
工作温度	最高1200°C（<30分钟）连续：1100°C（）最大加热速率：<=10°C/min 温度精度：+/-1°C
加热区域	400mm长度在进行薄膜生长之前，您应测量自己应用的炉温曲线。
石英管尺寸	石英石: 100 O.D x 95 I.D x 1000 L (mm)
温度控制器	1.包括两个温度控制器。一个是用于控制炉温，另一个是a2。另一个用于显示可移动坩埚温度 3.30步可编程固态继电器PID自动控制 4.内置过热和热电偶故障保护 5.可选：通过安装控制模块，炉子可以由PC操作。请额外付费订购MTS02-B控制模块。
真空法兰和真空执行器	左侧： 4英寸法兰，带1/4英寸巴德接头、1/4英寸管馈通端口（用于1/4英寸外径热电偶插入件）和KF40真空端口，用于连接真空泵右侧：带磁耦合真空执行器的4英寸快速夹紧法兰真空执行器杆将固定一个带石英热缓冲器的石英坩埚，该坩埚可以手动移入或移出坩埚中的样品，以实现快速加热或冷却 K型热电偶位于坩埚底部，用于控制温度可选：电动执行器可应要求提供，但需额外付费
真空泵	包括一个涡轮泵，用于连接左侧法兰最大10-6torr（冷态）
规格	尺寸：2100X410X690mm 重量：128公斤
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）。