OTF-1200X-80-DVD 自动滑动RTP管式炉（内径3英寸）

产品名称：最大1200C RTP管式炉（内径3英寸），带内部坩埚自动滑动

产品型号：OTF-1200X-80-DVD

产品描述：OTF-1200X-80-DVD是一种1200ºC、外径80 mm的管式炉，坩埚内有气密自动滑动机构，可以在受控气氛下移动到所需的温度位置作为升华源，实现炉中心基板的DVD或PVD。

产品描述

OTF-1200X-80-DVD是一种1200ºC、外径80 mm的管式炉，坩埚内有一个气密自动滑动机构，可以在受控气氛下移动到所需的温度位置作为升华源，实现炉中心基板的DVD或PVD。

产品参数

结构	1.一个高导热性氧化铝平面样品架（2“Lx1”W）固定在K型样品上，与样品架的热电偶可以在由磁铁手动驱动的石英管内移动，以在管内找到所需的温度位置进行蒸发或沉积。 2.一个NIST认证的精密温度监测器通过真空法兰上的馈通连接到热电偶和样品架。 3.一个磁体嵌入热块内，另一个磁体放置在管外。移动外部磁铁可以将管内带有热电偶的样品架移入或移出 4.炉内安装30段可编程温度控制器，将炉中心最高工作温度设置为1200℃ 5.包括一个小型石英坩埚，可用于容纳蒸发材料，或根据您的应用在顶部进行晶片沉积。
功率	110VAC或208-240VAC，50/60Hz（请在下单时确认电压） 1.5千瓦
最高温度	1200°C (<1 hour)
连续温度	1100°C ( continuous)
最大加热速率	<= 20 °C/min
加热区域	1.加热区长度：8英寸（200毫米），单区。 2.恒温区：2.3英寸（60毫米）（+/-1°C）@1000°C 3在进行薄膜生长之前，您应测量自己应用的炉温曲线。
温度控制器	1.30步可编程固态继电器PID自动控制 2.内置过热和热电偶故障保护可选：炉子可以通过安装控制模块的PC操作。请额外付费订购MTS02-B控制模块。
温度精准度	+/- 1°C
加热元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
管材尺寸	1.2英寸石英管（外径50毫米x内径44毫米x长1000毫米） 2.包括两个纤维陶瓷管块，用于阻挡管室的热辐射。（加热前，陶瓷块必须完全插入炉室） 3.包括一个小石英舟，用于放置样品或蒸发材料。
真空法兰	2英寸默认法兰，带1/4英寸巴德接头、1/4英寸管馈通端口（用于1/4英寸外径热电偶插入件）和KF25真空端口
规格	尺寸: 2400X450X700mm
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购更换件）。