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 OTF-1200X-5-SL 紧凑型红外灯加热滑动RTP管炉

OTF-1200X-5-SL 紧凑型红外灯加热滑动RTP管炉

产品名称:实验室用紧凑型红外灯加热滑动RTP管炉(外径5'')最高1200°C

产品型号:OTF-1200X-5-SL

产品描述:OTF-1200X-5-SL是一种5英寸的滑动炉,带有电阻加热和电动滑动电机,用于快速加热和冷却。它能够实现>10°C/s的最大加热冷却速率,并将最大直径为4英寸的晶片退火至1200℃。

产品描述

OTF-1200X-5-SL是一款5英寸的滑动炉,带有电阻加热和电动滑动电机,用于快速加热和冷却。它能够实现>10°C/s的最大加热冷却速率,并将最大直径为4英寸的晶片退火至1200°C。

产品参数

结构 

1.双层钢制外壳,带空气冷却,可确保炉子在1200℃下连续使用

2.独立温控单元,可远程操作

3.300毫米长的加热区,100毫米恒温区,+/-2ºC

4.安装了一套滑轨,通过控制旋钮,炉子可以以变速自动从一侧移动到另一侧。

5.真空法兰和数字真空计已安装,可立即使用。

6.石英管:5英寸石英管(外径130mm x内径120mm x内径1400mmL)配有气密法兰

7.用石英舟退火直径最大为4英寸的晶片。

IR Lamp Heating Sliding RTP Tube Furnace Structure.jpg

IR Lamp Heating Sliding RTP Tube Furnace Structure.jpg

功率

交流电208-240V单相,50/60 Hz

3.5千瓦

工作温度

最高1200℃<1小时

1100℃或以下:连续

滑动控制

1.镀铬钢双滑轨

2.滑轨长度:1200mm

3.直流电机滑动驱动

4.自动滑动由温度控制器控制。加热程序完成后,炉子将以设定速度从右向左滑动。风扇将吹向加热区域,以实现快速冷却。

-滑动范围:340mm

-滑动速度:0-70mm/s;可调节

IR Lamp Heating Sliding RTP Tube Furnace Sliding Control.jpg

加热和冷却速率

通过将预热的样品区域滑动来实现快速加热

-最大加热速率约为10ºC/S

通过将加热炉滑离样品区和风扇冷却来实现快速冷却

-最大冷却速率约为10ºC/S

将一个热电偶插入样品区域,并通过软件记录加热和冷却曲线

温度控制

-两个PID自动控制器,具有30个可编程段,用于控制加热和冷却速率以及停留时间。

-内置过热和热电偶损坏保护。

-包括两个热电偶:一个用于炉温控制,一个用于记录加热和冷却速率

-+/-1ºC温度精度。

-RS485通信端口。

真空法兰

不锈钢真空法兰安装在管子的两端。

右侧法兰:

铰链式法兰,便于样品装载

用于插入K型热电偶的1/4“直径馈通

内置带倒钩气体接头的针阀

Vacuum Flanges.jpg

左法兰:

包括数字真空计

KF25直角阀用于连接真空泵

包括一个用于真空释放的针阀

Vacuum Flanges.jpg


真空度

受真空泵限制

机械泵可以达到10^-2torr

分子泵可以达到10-4torr

不包括真空泵,请单独订购

规格

尺寸:

460 x 330 x 520毫米(仅炉子)

1800 x 450 x 680毫米(炉+滑动)

重量:80公斤

IR Lamp Heating Sliding RTP Tube Furnace Dimension.jpg

保修

一年有限制造商保修(加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内,请在相关产品处订购更换件)。

IR Lamp Heating Sliding RTP Tube Furnace.jpg

IR Lamp Heating Sliding RTP Tube Furnace.jpg

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