产品名称:实验室用紧凑型红外灯加热滑动RTP管炉(外径5'')最高1200°C
产品型号:OTF-1200X-5-SL
产品描述:OTF-1200X-5-SL是一种5英寸的滑动炉,带有电阻加热和电动滑动电机,用于快速加热和冷却。它能够实现>10°C/s的最大加热冷却速率,并将最大直径为4英寸的晶片退火至1200℃。
产品描述
OTF-1200X-5-SL是一款5英寸的滑动炉,带有电阻加热和电动滑动电机,用于快速加热和冷却。它能够实现>10°C/s的最大加热冷却速率,并将最大直径为4英寸的晶片退火至1200°C。
产品参数
结构 | 1.双层钢制外壳,带空气冷却,可确保炉子在1200℃下连续使用 2.独立温控单元,可远程操作 3.300毫米长的加热区,100毫米恒温区,+/-2ºC 4.安装了一套滑轨,通过控制旋钮,炉子可以以变速自动从一侧移动到另一侧。 5.真空法兰和数字真空计已安装,可立即使用。 6.石英管:5英寸石英管(外径130mm x内径120mm x内径1400mmL)配有气密法兰 7.用石英舟退火直径最大为4英寸的晶片。 |
功率 | 交流电208-240V单相,50/60 Hz 3.5千瓦 |
工作温度 | 最高1200℃<1小时 1100℃或以下:连续 |
滑动控制 | 1.镀铬钢双滑轨 2.滑轨长度:1200mm 3.直流电机滑动驱动 4.自动滑动由温度控制器控制。加热程序完成后,炉子将以设定速度从右向左滑动。风扇将吹向加热区域,以实现快速冷却。 -滑动范围:340mm -滑动速度:0-70mm/s;可调节 |
加热和冷却速率 | 通过将预热的样品区域滑动来实现快速加热 -最大加热速率约为10ºC/S 通过将加热炉滑离样品区和风扇冷却来实现快速冷却 -最大冷却速率约为10ºC/S 将一个热电偶插入样品区域,并通过软件记录加热和冷却曲线 |
温度控制 | -两个PID自动控制器,具有30个可编程段,用于控制加热和冷却速率以及停留时间。 -内置过热和热电偶损坏保护。 -包括两个热电偶:一个用于炉温控制,一个用于记录加热和冷却速率 -+/-1ºC温度精度。 -RS485通信端口。 |
真空法兰 | 不锈钢真空法兰安装在管子的两端。 右侧法兰: 铰链式法兰,便于样品装载 用于插入K型热电偶的1/4“直径馈通 内置带倒钩气体接头的针阀 左法兰: 包括数字真空计 KF25直角阀用于连接真空泵 包括一个用于真空释放的针阀 |
真空度 | 受真空泵限制 机械泵可以达到10^-2torr 分子泵可以达到10-4torr 不包括真空泵,请单独订购 |
规格 | 尺寸: 460 x 330 x 520毫米(仅炉子) 1800 x 450 x 680毫米(炉+滑动) 重量:80公斤 |
保修 | 一年有限制造商保修(加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内,请在相关产品处订购更换件)。 |
联系人:Bruce Liu
手机:+86-18059149998
电话:+86-18059149998
邮箱:sales@supsemi.com
地址: 福建省龙岩市新罗区西陂街道西山村西陂路89号1幢1402室
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