OTF-1200X-III-80-F3LV 用于CVD或扩散的三区石英管炉（直径80mm，最高1200C）

产品名称：CVD或扩散用三区石英管炉（直径80mm，最高1200C）

产品型号：OTF-1200X-III-80-F3LV

产品描述：OTF-1200X-III-80-F3LV是一款可分体式三区管式炉，配有机械真空泵和数字真空计以及三通道气体流动系统，可实现高达10-2torr的真空，并混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品描述

OTF-1200X-III-80-F3LV是一款可拆分的三区管式炉，配备机械真空泵和数字真空计，以及三通道气体流动系统，能够实现高达10⁻² torr的真空，并混合1至3种气体用于CVD或扩散。该炉系统还包括一种抗腐蚀的Pirani电容薄膜压力计，以实现对具有侵蚀性气体的真空测量。

产品参数

炉体结构	- 双层钢壳，配备风冷系统。 - 高纯度铝土矿纤维绝缘材料，最大限度地节约能源。 - 可拆分的盖子，便于更换管道。
功耗	5 KW
输入电压	AC 208-240V 单相, 50 or 60 Hz
最高温度	1200°C
持续工作温度	1100°C
最大加热速率	≤ 20°C /min
加热区域长度	3个区: (880mm, 35" in total) • Zone 1: 220mm (8.6" ) • Zone 2: 440mm (17.3") • Zone 3: 220 mm (8.6")
持续温度区域	- 如果三个区域设置在相同温度下，恒温区长度为25英寸（625 mm），温差为±1°C。 - 如果仅使用一个区域（中心区域），恒温区长度为4.3英寸（110 mm），温差为±1°C。
温度控制器	- 三个精密温度控制器，分别控制三个区域。 - PID自动控制，具有30个可编程段，用于精确控制加热速率、冷却速率和保温时间。 - 内置过热和断热电偶保护。 - 过温保护和报警功能，允许无人值守操作。 - 温度精度为±1 ºC。 - RS485通信端口。
温度精确度	+/-1°C
加热元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
石英管和密封法兰	- 包含80 mm外径 x 72 mm内径 x 1400 mm的熔融石英管。 - 包含带阀门和压力计的真空法兰。 - 热块必须按照下图所示放置在管内。
真空传感器与显示器	- 防腐蚀电容薄膜压力计，配有陶瓷涂层传感器头，专为在腐蚀性气体存在下进行真空测量而设计。 - 压力计安装在管式炉的真空法兰（右侧），提供广泛的测量范围（10⁻⁵ ~ 1000 torr）。
滑动法兰与样品夹具	可选配手动操作的样品转移滑动装置，额外费用为1900美元（请参阅下方图片）。
规格尺寸	尺寸: • 炉体: 1100 X 450 x 670 mm • 底部移动箱体: 600x600x597 mm 重量: 850 Lbs
保修	一年有限制造商保修（加工管、O型圈和加热元件等易损件不在保修范围内，请在相关产品处订购替换件）。